Klassificering genom kemisk ångavsättning
Det finns många metoder för kemisk ångavsättning, såsom atmosfärstryck CVD (APCVD), lågtryck CVD (LPCVD), ultrahög vakuum CVD (UHVCVD), laserkemisk ång Laserdeposition (LCVD), metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD) , plasmaförstärkt kemisk ångavsättning (PECVD), etc.